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- 研究了低能Ar+离子束对单晶硅表面的刻蚀效果.使用自制的冷阴极离子源,通过控制离子束的入射能量和刻蚀时间等因素,对单晶硅(100)表面进行刻蚀,采用原子力显微镜(AFM)和非接触 ... 详情>>
- 西安工业大学学报 2012年06期 低能离子束刻蚀; 自组织纳米结构; 表面形貌; 表面粗糙度(RMS);
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- 通过对熔石英表面和亚表面划痕的原位测量,研究划痕的表面均方根(RMS)粗糙度、宽度和深度在HF溶液中刻蚀不同时间后的变化规律,测试了不同刻蚀时间下熔石英的损伤阈值。实验结果表明: ... 详情>>
- 光电子.激光 2010年10期 熔石英; 划痕; 原位测量; 表面粗糙度(RMS); 损伤阈值;
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- 为了获得超光滑光学表面,介绍了离子束作用下改善表面粗糙度的抛光方法,并通过相关的实验进行了验证。光学材料是典型的硬脆材料,在加工过程中的表面粗糙度要经历复杂的演变过程。离子束加工 ... 详情>>
- 应用光学 2010年06期 离子束抛光; 光学表面粗糙度; 倾斜入射抛光; 牺牲层抛光技术;
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- 正采用平台珩磨工艺可以形成内燃机缸套的特殊表面结构。所得到的表面包括贮存油的深糟以及深糟之间微小的平台表面,如图1所示。这种表面结构具有下述优点:适用于高压缩比压缩机和柴油机;表 ... 详情>>
- 内燃机配件 1993年01期
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- 为了研究耕作后土壤表面粗糙度随时间变化的规律,通过采用3种不同耕作方式(铧式犁、浅松铲、圆盘耙),在耕作后45天内,每隔5天利用激光土壤表面粗糙度扫描仪测量土壤表面粗糙度的方法, ... 详情>>
- 中国农学通报 2012年29期 土壤表面粗糙度; 均方根; 自相关长度; 指数模型;
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- 为了探讨不同清洗工艺对基片表面微观粗糙度的影响,利用总积分散射(TIS)仪分别对不同条件下超声清洗的K9玻璃基片,End hall离子源清洗的K9玻璃基片和Kaufmann离子源 ... 详情>>
- 中国激光 2009年06期 薄膜; 基片; 表面粗糙度; 清洗; 散射仪;
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- 为了获得具有高质量光学表面的非球面碳化硅反射镜,需对碳化硅反射镜表面进行改性。介绍了离子束辅助沉积硅的碳化硅表面改性技术。对改性样片表面硅改性层的机械性能、光学加工性、表面粗糙度 ... 详情>>
- 激光与光电子学进展 2012年03期 光学表面; 碳化硅; 表面改性; 离子束辅助沉积; 表面粗糙度; 表面反射率;
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- 直接抛光后的SiC反射镜表面光学散射仍较大,无法满足高质量空间光学系统的应用需求。为此必须对SiC反射镜进行表面改性,以获得高质量的光学表面。目前国际上较为流行的是制备Si或Si ... 详情>>
- 光学学报 2009年09期 薄膜; 表面改性; 离子辅助; Si薄膜; SiC薄膜; SiC反射镜;
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