●中关村起源于20世纪80年代初电子一条街(1983年1月--1988年4月)

1980年10月23日，此前曾两次到美国硅谷参考的中国科学院物理研究所研究员陈春先与6名科技人员一起，在北京市科学技术协会的支持下，成立北京等离子体学会先进技术发展服务部。这一举动拉开了科技人员面向市场、自主创业的序幕。1984年前后，中关村地区有了一批“下海”经商的科技人员，他们通过创办民营科技企业的方式，探索科技成果转化为生产力的途径。到1987年，以“两通两海”(即四通公司、信通公司、科海公司、京海公司)为代表的近百家科技企业聚集在自白石桥起沿白颐路(今中关村大街)向北至成府路和中关村路至海淀路一带、东至学院路，形成大写的英文字母“F”型地区，被人们称为“电子一条街”。

●北京市新技术产业开发试验区时期(1988年5月--1999年5月)

1988年5月10日，国务院正式批准《北京市新技术产业开发试验区暂行条例》，并规定，以中关村地区为中心，在北京市海淀区划出100平方公里左右的区域为北京市新技术产业开发试验区的政策区范围。5月20日，北京市政府印发《北京市新技术产业开发试验区暂行条例》，由此，北京市新技术产业开发试验区正式成立。1994年4月，国家科学技术委员会批准将丰台园、昌平园纳入实验区政策区范围。1999年1月，经国家科委批准，试验区区域再次调整，将电子城、亦庄园纳入实验区政策区范围。从此，北京市新技术产业开发试验区形成“一区五园”的空间格局。

●中关村科技园区时期(1999年6月--2009年2月)

1999年6月5日，国务院印发《关于建设中关村科技园区有关问题的批复》，原则同意北京市政府和科技部《关于实施科教兴国战略，加快建设中关村科技园区的请示》中关于加快建设中关村科技园区的意见和关于中关村科技园区的发展规划。8月10日，北京市政府发出通知，决定将北京市新技术产业开发试验区管理委员会更名为中关村科技园区管理委员会。2006年1月17日，经国务院批准，国家发展改革委公告第五批通过审批的20家国家级开发区(2006年第3号)。调整后的中关村科技园区总面积为23252.29公顷，包括海淀园、丰台园、昌平园、德胜园(含雍和园)、电子城(含健翔园)、亦庄园(包括通州光机电一体化园区和通州环保园区)、石景山园、大兴生物医药产业基地等，形成了“一区十园”的空间格局。

●中关村国家自主创新示范区时期(2009年3月-- )

2009年3月13日，国务院《关于同意支持中关村科技园区建设国家自主创新示范区的批复》发布，明确中关村科技园区的新定位是国家自主创新示范区，目标是成为具有全球影响力的科技创新中心。2010年12月23日，北京市十三届人大常委会第二十二次会议表决通过《中关村国家自主创新示范区条例》。该条例明确规定:“中关村国家自主创新示范区由海淀园、丰台园、昌平园、电子城、亦庄园、德胜园、石景山园、雍和园、通州园、大兴生物医药产业基地以及市人民政府根据国务院批准划定的其他区域等多园构成。”2012年10月13日，国务院批复同意调整中关村国家自主创新示范区空间规模和布局，由原来的一区十园增加为一区十六园，包括东城园、西城园、朝阳园、海淀园、丰台园、石景山园、门头沟园、房山园、通州园、顺义园、大兴-亦庄园、昌平园、平谷园、怀柔园、密云园、延庆园等园区。